一、ESD操控的基本準(zhǔn)則 做好ESD防護(hù)規(guī)劃:器材選型、合理布線、規(guī)劃維護(hù)電路等 消除和削減靜電的發(fā)生:削減或消除靜電發(fā)生的進(jìn)程、維持進(jìn)程和資料處于等電勢(shì)等 使靜電荷瀉放與中和:運(yùn)用靜電導(dǎo)體、接地、電離器來瀉放與中和靜電 維護(hù)產(chǎn)品免遭ESD損傷:運(yùn)用防靜電資料包裝和儲(chǔ)運(yùn)
二、防靜電區(qū)規(guī)劃準(zhǔn)則 按捺靜電荷的堆集和靜電壓的發(fā)生。如設(shè)備、儀器、工裝不運(yùn)用塑料、有機(jī)玻璃、普通塑料袋。 安全、敏捷、有效地消除已發(fā)生的靜電荷,使 用有繩防靜電腕帶、防靜電椅、防靜電周轉(zhuǎn)車、防靜電周轉(zhuǎn)箱。 保證靜電壓小于100V。
三、防靜電體系要素
1.地上 防靜電地上(防靜電水磨石,防靜電地板)體電阻10 5 ~10 9 Ω,敷設(shè)地線網(wǎng)。
2.工位
3.接地
a、防靜電作業(yè)區(qū)有必要有安全牢靠的防靜電接地裝置,地電阻小于4 Ω。
b、作業(yè)臺(tái)面、地墊、坐椅和其它導(dǎo)靜電的ESD維護(hù)設(shè)備均應(yīng)通過限流電阻接入地線,腕帶等應(yīng)通過作業(yè)臺(tái)頂面接地點(diǎn)與地線銜接,作業(yè)臺(tái)不可相互串聯(lián)接地。
c、防靜電作業(yè)區(qū)接地體系,包含限流電阻和銜接端子應(yīng)銜接牢靠并具有必定載流能力,限流電阻值選擇應(yīng)保證漏泄電流不超過5mA ,下限值取為1M Ω 。
4.溫濕度 20~30℃,相對(duì)濕度30~70%。
5.增濕 增濕器使空氣潮濕,避免靜電荷堆集,此法不適于增濕后會(huì)發(fā)生有害影響的場(chǎng)所。
6.電離器 不能有效地泄放靜電荷的場(chǎng)合,可采用電離器通過空氣中的正負(fù)離子來避免和中和元器材和其它物體上電荷 堆集,電離能力大于 250V/s 。
7.人體 穿防靜電作業(yè)服、作業(yè)鞋,戴有繩防靜電腕帶、手套、指套等。
8.包裝 靜電靈敏器材應(yīng)采取防靜電維護(hù)性包裝,如防靜電袋、防靜電盒等。
9.儲(chǔ)存、運(yùn)輸 靜電靈敏器材有必要存放在防靜電容器(箱、袋)內(nèi),并用防靜電運(yùn)輸工具(箱、車)周轉(zhuǎn)。貯運(yùn)中要遠(yuǎn)離靜電場(chǎng)、電磁場(chǎng)或放射場(chǎng)。
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